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气相沉积技术研究现状与进展
原文由跳转后的合作网站提供
更新时间：2021-06-08 04:58:08
气相沉积技术研究现状与进展
摘要：
介绍了气相沉积技术的原理、分类、研究现状和发展趋势,硬质薄膜具的有高硬度、高弹性模量、高耐磨性、高热阻、高热稳定性、高抗高温氧化性能使其作为一种新型材料在机械，电子，航空航天等工业中有着广泛的应用，在机械工业中通过在各种切削刀具，模具及各种在经常在重负荷高温高速条件下工作的机械部件沉积耐磨、减摩等保护膜可以显著提高机械部件的使用寿命；在航空航天工业中，在航空发动机的表面沉积具有很好的高温热稳定性高的导热性保护膜，可以提高发动机的使用寿命，通过在航天飞机的表面沉积高温稳定性较好的陶瓷薄膜，对航天飞机的外壳起到很好的保护作用。在电子工业中，计算机硬盘盘片，光盘盘片等高速运转的器件需要在表面沉积一层硬质薄膜，以确保盘片在高速运转过程中以及启动和停止过程中不会损坏。在选择不同服役条件下工件表面要沉积的薄膜材料时，首先要对工件的失效情况进行分析，之后要分析工件的服役条件，不同的服役条件，对要镀的薄膜的性能有不同的要求，选择不同类型的薄膜，并选择薄膜的制备工艺。薄膜的性能包括机械性能，物理性能和化学性能。机械性能主要有硬度强度韧性膜基结合力残余应力抗冲击能力抗粘接性能。物理性能包括导热性，热膨胀系数，电学性能。光学性能，磁学性能，化学性能丰要包括高温热稳定性抗氧化性和抗腐蚀性能。总之，气相沉积技术将是新薄膜材料及应用的发展中心，材料的选择和沉积膜的质量将进一步得到发展和提高。其前沿的继续发展将满足电子学、光学、磨损、腐蚀和热覆盖层不断提高的要求。
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文献分析
关键词
关键词热度
英文
相关文献总数
299232
(/次)
(/年)
文献信息
| 会议名称 | 陕西省环境科学学会2014年年会 | 会议地点 | 西安 | ||
| 作者 | 陈向阳 张瑾 | ||||
| 会议召开年 | 2014 | 会议文集 | 陕西省环境科学学会2014年年会论文集 | ||
| 页码 | 422-426 | 总页数 | 5 | ||
| 原文格式 | 正文语种 |
会议信息
陕西省环境科学学会2014年年会
118
0
0
| 召开年 | 2014 | 召开地 | 西安 |
| 出版时间 | 2014-12 | ||
| 会议文集 | 陕西省环境科学学会2014年年会论文集 | ||
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