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输运和化学组分对CVD的影响—硅淀积的三维分析
输运和化学组分对CVD的影响—硅淀积的三维分析
作者:
GOKO.,SA
娄建中
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硅淀积
三维分析
化学组分
CVD
摘要:
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篇名
输运和化学组分对CVD的影响—硅淀积的三维分析
来源期刊
电子通讯
学科
工学
关键词
硅淀积
三维分析
化学组分
CVD
年,卷(期)
1989,(41)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
2-14
页数
13页
分类号
TN405.786
字数
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化学组分
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电子通讯
主办单位:
河北大学电子学系资料室
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
保定124信箱
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