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光集成回路元件隔离用高电阻InP选择隐埋生长技术
光集成回路元件隔离用高电阻InP选择隐埋生长技术
作者:
管生繁男
赵王兰
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OEIC
元件隔离层
选择隐埋生长
摘要:
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文献信息
篇名
光集成回路元件隔离用高电阻InP选择隐埋生长技术
来源期刊
光纤通信技术
学科
工学
关键词
OEIC
元件隔离层
选择隐埋生长
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
25-30
页数
6页
分类号
TN491
字数
语种
中文
DOI
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OEIC
元件隔离层
选择隐埋生长
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期刊影响力
光纤通信技术
主办单位:
武汉邮电科学研究院
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
武汉市洪山区邮科院路88号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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1130
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