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磁控射频溅射台电气设计中的几个问题
磁控射频溅射台电气设计中的几个问题
作者:
唐俊华
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磁控
射频溅射台
电气设计
摘要:
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文献信息
篇名
磁控射频溅射台电气设计中的几个问题
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
磁控
射频溅射台
电气设计
年,卷(期)
1989,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
30-34
页数
5页
分类号
TN304.055
字数
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四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
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