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P型衬底扩散工艺的新技术
P型衬底扩散工艺的新技术
作者:
毛飞宁
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P型
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工艺
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摘要:
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文献信息
篇名
P型衬底扩散工艺的新技术
来源期刊
红讯半导体
学科
工学
关键词
P型
衬底
扩散
工艺
半导体器件
年,卷(期)
1989,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
13-17
页数
5页
分类号
TN305.4
字数
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半导体器件
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期刊影响力
红讯半导体
主办单位:
上海无线电二十九厂情报资料室
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
上海新肇周路1381号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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37
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