作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
SUPREM-Ⅲ进行集成电路氧化一扩散工艺模拟
SUPREM-Ⅲ
氧化扩散
工艺模拟
扩散工艺对渗铝钢循环氧化和剥落性能的影响机理研究
内氧化
氧化和剥落性能
扩散工艺
渗铝钢
低压磷扩散工艺研究
低压扩散
源流量
源瓶压力
泵压力
扩散时间
解析半导体生产中扩散工艺技术应用
半导体生产
扩散工艺技术
半导体技术
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 P型衬底扩散工艺的新技术
来源期刊 红讯半导体 学科 工学
关键词 P型 衬底 扩散 工艺 半导体器件
年,卷(期) 1989,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-17
页数 5页 分类号 TN305.4
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1989(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
P型
衬底
扩散
工艺
半导体器件
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
红讯半导体
双月刊
上海新肇周路1381号
出版文献量(篇)
37
总下载数(次)
0
总被引数(次)
0
论文1v1指导