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文献信息
| 篇名 | 测量行程平直度的激光干涉仪 | ||
| 来源期刊 | 上海光机 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 激光干涉仪 机床 平直度 干涉仪 | ||
| 年，卷（期） | shgj_1989,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 49-54 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TH744.3 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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