作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
国外超大规模集成电路的生产状况
超大规模集成电路
武器装备
发展对策
主流产品
超大规模集成电路中的可靠性技术应用与发展
超大规模集成电路
系统芯片
可靠性
一种超大规模集成电路内部存储单元单粒子效应仿真评估方法
单粒子翻转
超大规模集成电路
存储器
仿真
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 用于超大规模集成电路的高纯度阴极喷镀钛靶
来源期刊 钨钼材料 学科 工学
关键词 阴极喷镀 钛靶 集成电路 超大规模
年,卷(期) 1989,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 20-23
页数 4页 分类号 TN47
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1989(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
阴极喷镀
钛靶
集成电路
超大规模
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
钨钼材料
季刊
成都市253信箱情报室
出版文献量(篇)
505
总下载数(次)
4
总被引数(次)
0
论文1v1指导