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用于超大规模集成电路的高纯度阴极喷镀钛靶
用于超大规模集成电路的高纯度阴极喷镀钛靶
作者:
李小渝
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阴极喷镀
钛靶
集成电路
超大规模
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篇名
用于超大规模集成电路的高纯度阴极喷镀钛靶
来源期刊
钨钼材料
学科
工学
关键词
阴极喷镀
钛靶
集成电路
超大规模
年,卷(期)
1989,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
20-23
页数
4页
分类号
TN47
字数
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DOI
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主办单位:
成都虹波实业股份有限公司
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
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语种:
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