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DJ—2可变矩形电子束曝光机的DMA驱动程序
DJ—2可变矩形电子束曝光机的DMA驱动程序
作者:
罗武庭
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矩形
电子束
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DMA驱动程序
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文献信息
篇名
DJ—2可变矩形电子束曝光机的DMA驱动程序
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
矩形
电子束
曝光机
DMA驱动程序
年,卷(期)
1989,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
20-26
页数
7页
分类号
TN405.985
字数
语种
DOI
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期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
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