光学薄膜厚度的测定和控制

金三

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光学薄膜厚度的测定和控制

光学薄膜厚度的测定和控制

作者：

金三

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光学薄膜

厚度

测量

控制

摘要：

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文献信息

篇名	光学薄膜厚度的测定和控制
来源期刊	上海光机	学科	物理学
关键词	光学薄膜厚度测量控制
年，卷（期）	1989,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	23-28
页数	6页	分类号	O484.5
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