Al2O3膜内荷电粒子的研究

王力衡; 陈培基

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Al2O3膜内荷电粒子的研究

作者：

王力衡陈培基

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Al2O3膜

荷电粒子

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篇名	Al2O3膜内荷电粒子的研究
来源期刊	电子元件	学科	工学
关键词	Al2O3膜荷电粒子 TsC法
年，卷（期）	1989,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	24-28
页数	5页	分类号	TM535.1
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