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采用光电技术测量微细线宽的探讨
采用光电技术测量微细线宽的探讨
作者:
戚元燧
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光电测量
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篇名
采用光电技术测量微细线宽的探讨
来源期刊
光学工程
学科
工学
关键词
光电测量
线宽
光刻
制板
集成电路
年,卷(期)
1989,(6)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
6-12
页数
7页
分类号
TN407
字数
语种
中文
DOI
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光学工程
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出版周期:
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