作者:
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
基于弦振动测量金属细线的线密度
弦振动
细线
线密度
测量
采用光电图像测量技术改进的单缝衍射实验
大学物理实验
单缝衍射
数字化
图像处理
C#
实用光电倍增管测量多泡声致发光强度
声致发光
光电倍增管
高压管座
PMT故障辨别
海水COD测量仪中光电测量单元技术研究
光电测量
光谱特性
灵敏度
信噪比
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 采用光电技术测量微细线宽的探讨
来源期刊 光学工程 学科 工学
关键词 光电测量 线宽 光刻 制板 集成电路
年,卷(期) 1989,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 6-12
页数 7页 分类号 TN407
字数 语种 中文
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1989(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
光电测量
线宽
光刻
制板
集成电路
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学工程
季刊
出版文献量(篇)
46
总下载数(次)
1
总被引数(次)
0
论文1v1指导