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摘要:
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固态功率源
反射功率
功率合成网络
S参数
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 由反射功率的监测来确定终点
来源期刊 LSI制造与测试 学科 工学
关键词 集成电路 反射功率 终点检测 刻蚀
年,卷(期) 1989,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 41-42
页数 2页 分类号 TN405.7
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
反射功率
终点检测
刻蚀
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
双月刊
31-1459/TN
上海江西中路450号
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
0
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0
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