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文献信息
| 篇名 | 真空泵的现状和将来 | ||
| 来源期刊 | 世界机械工业 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 真空泵 半导体工业 | ||
| 年，卷（期） | sjjdjs_1989,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 4-6 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TB752 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
真空泵
半导体工业
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
世界机电技术
主办单位：
机电部科技情报所
出版周期：
月刊
ISSN：
1001-9723
CN：
11-2742/TH
开本：
出版地：
北京阜外百万庄南街1号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
696
总下载数（次）
0
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