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Si^+,Mg^+(隐埋)双注入GaAsMESFET
Si^+,Mg^+(隐埋)双注入GaAsMESFET
作者:
欧海疆
王渭源
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GAAS
MESFET
Si^+
Mg^+
离子注入
摘要:
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篇名
Si^+,Mg^+(隐埋)双注入GaAsMESFET
来源期刊
科技通讯(上海船厂)
学科
工学
关键词
GAAS
MESFET
Si^+
Mg^+
离子注入
年,卷(期)
1989,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
27-31
页数
5页
分类号
TN325.305
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科技通讯(上海船厂)
主办单位:
上海求新造船厂科技办公室
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
上海市机厂路132号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
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142
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