真空泵的现状和将来

宋忠烈; 张肇平

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真空泵的现状和将来

作者：

宋忠烈张肇平

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真空泵

半导体工业

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文献信息

篇名	真空泵的现状和将来
来源期刊	世界机械工业	学科	工学
关键词	真空泵半导体工业
年，卷（期）	1989,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	4-6
页数	3页	分类号	TB752
字数		语种	中文
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