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用RHEEO强度振荡锁相外延控制Ge/Si超晶格的生长
用RHEEO强度振荡锁相外延控制Ge/Si超晶格的生长
作者:
金高龙
陈可明
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晶体
生长
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摘要:
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篇名
用RHEEO强度振荡锁相外延控制Ge/Si超晶格的生长
来源期刊
动力机械通讯
学科
物理学
关键词
晶体
生长
超晶格
电子
衍射
年,卷(期)
1990,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
408-415
页数
8页
分类号
O781
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上海机械学院动力工程学院资料室
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