基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取       
摘要:
推荐文章
硅基微加工工艺滤波器的研究进展
硅基片
微加工工艺
滤波器
毫米波
基于硅微加工工艺的微热板传热分析
微热板
硅微加工工艺
有限元
热传导
MEMS表面微加工工艺技术
MEMS
表面微加工工艺
多晶硅
器件
微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术
MEMS
MISSM技术
单硅片单面加工
微型释放窗口
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
(/次)
(/年)
文献信息
篇名 硅工艺及微加工 (续)
来源期刊 上海光机 学科 工学
关键词 硅工艺 微加工 硅单晶
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 39-43
页数 5页 分类号 TN304.12
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献  (0)
共引文献  (0)
参考文献  (0)
节点文献
引证文献  (0)
同被引文献  (0)
二级引证文献  (0)
1990(0)
  • 参考文献(0)
  • 二级参考文献(0)
  • 引证文献(0)
  • 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅工艺
微加工
硅单晶
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海光机
季刊
上海老沪闵路1901号
出版文献量(篇)
56
总下载数(次)
0
总被引数(次)
0
论文1v1指导