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文献信息
| 篇名 | 硅工艺及微加工 （续） | ||
| 来源期刊 | 上海光机 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 硅工艺 微加工 硅单晶 | ||
| 年，卷（期） | shgj_1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 39-43 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN304.12 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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