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硅工艺及微加工 (续)
硅工艺及微加工 (续)
作者:
杨亮生
黄保卫
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硅工艺
微加工
硅单晶
摘要:
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文献信息
篇名
硅工艺及微加工 (续)
来源期刊
上海光机
学科
工学
关键词
硅工艺
微加工
硅单晶
年,卷(期)
1990,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
39-43
页数
5页
分类号
TN304.12
字数
语种
DOI
五维指标
传播情况
被引次数趋势
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引文网络
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1990(0)
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二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硅工艺
微加工
硅单晶
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海光机
主办单位:
上海光学机械厂
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
上海老沪闵路1901号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
56
总下载数(次)
0
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