论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- LSI制造与测试期刊 \
光刻中紫外光探测的方法和仪器
推荐文章
有机紫外光探测器原理及其主要影响因素
有机紫外光探测器
原理
激子
性能参数
软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
紫外光电探测器的发展研究
紫外
探测器
半导体
宽禁带
AIGaN紫外光电导探测器的研究
AlGaN
光电导探测器
紫外光
PPC
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1990(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
光刻系统
紫外光
探测法
探测仪器
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位：
上海光学仪器研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
31-1459/TN
开本：
出版地：
上海江西中路450号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
366
总下载数（次）
0
总被引数（次）
0
期刊文献
相关文献
推荐文献
