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不锈钢焊管
等离子焊接
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应用
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文献信息
篇名 大容量等离子去胶机在MOS电路生产中的应用
来源期刊 上海半导体 学科 工学
关键词 等离子去胶机 MOS电路 刻蚀工艺
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-16
页数 4页 分类号 TN432.05
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
等离子去胶机
MOS电路
刻蚀工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
总下载数(次)
3
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0
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