磁控共溅非晶态合金的形成

范毓殿; 陈清明

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磁控共溅非晶态合金的形成

作者：

范毓殿陈清明

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文献信息

篇名	磁控共溅非晶态合金的形成
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	磁控共溅非晶态合金薄膜
年，卷（期）	1990,（1）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	1-9
页数	9页	分类号	TG139.8
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