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关于CZ单晶炉速度精度测试试问题
关于CZ单晶炉速度精度测试试问题
作者:
陈巨方
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单晶炉
速度
精度
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晶体
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文献信息
篇名
关于CZ单晶炉速度精度测试试问题
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
单晶炉
速度
精度
测试仪
晶体
年,卷(期)
1990,(2)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-5
页数
5页
分类号
TF806.9
字数
语种
DOI
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期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
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