论文降重
免费查重
推荐文章
聚焦离子束辅助淀积的淀积速率模型
淀积速率
模型
聚焦离子束
用于双离子束注入器的杂质消除系统
注入器
双离子束
杂质
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
脉冲离子束流聚焦装置的研制
脉冲离子束流
限束
透镜
聚焦
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 双离子束溅射淀积DLC膜的导电行为 | ||
| 来源期刊 | 薄膜科学与技术 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 离子束溅射 淀积 DLC膜 导电 | ||
| 年，卷（期） | bmkxyjs_1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 45-51 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | TN304.18 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1990(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
离子束溅射
淀积
DLC膜
导电
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
主办单位：
南京电子器件研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
南京1601信箱43分箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
327
总下载数（次）
1
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
