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气敏陶瓷
研究内容
研究方法
氧化锌半导体材料的性能研究与制备进展
氧化锌
半导体材料
薄膜
光电性能
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 气相色谱应用于半导体硅材料制备工艺中的碳,磷测定
来源期刊 有色金属分析通讯 学科 工学
关键词 气相色谱法 半导材料 制备
年,卷(期) 1990,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 24-25
页数 2页 分类号 TN304.7
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节点文献
气相色谱法
半导材料
制备
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期刊影响力
有色金属分析
双月刊
北京新街口外大街2号信息所
出版文献量(篇)
547
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