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文献信息
| 篇名 | 气相色谱应用于半导体硅材料制备工艺中的碳,磷测定 | ||
| 来源期刊 | 有色金属分析通讯 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 气相色谱法 半导材料 硅 制备 | ||
| 年，卷（期） | ysjsfx_1990,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 24-25 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN304.7 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
气相色谱法
半导材料
硅
制备
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
有色金属分析
主办单位：
中国有色金属分析信息网
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京新街口外大街2号信息所
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
547
总下载数（次）
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