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文献信息
| 篇名 | 超净厂房中的低发尘化 | ||
| 来源期刊 | 红讯半导体 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 超净厂房 集成电路 半导体 | ||
| 年，卷（期） | hxbdt_1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 55-62 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | TN082 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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研究主题发展历程
节点文献
超净厂房
集成电路
半导体
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期刊影响力
红讯半导体
主办单位：
上海无线电二十九厂情报资料室
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
上海新肇周路1381号
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
37
总下载数（次）
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