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等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
作者:
周坤舜
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
等离子体化学
薄膜材料
表面改性
摘要:
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文献信息
篇名
等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
等离子体化学
薄膜材料
表面改性
年,卷(期)
1990,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
1-7
页数
7页
分类号
TB43
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薄膜材料
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主办单位:
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出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
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成都市第109信箱207分箱
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创刊时间:
语种:
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395
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