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等离子体在化学化工上的应用
等离子体
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应用
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表面改性
应用
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等离子体技术
表面改性
应用
材料
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 等离子体化学在薄膜和表面工艺中的应用
来源期刊 四川真空 学科 工学
关键词 等离子体化学 薄膜材料 表面改性
年,卷(期) 1990,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-7
页数 7页 分类号 TB43
字数 语种
DOI
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研究主题发展历程
节点文献
等离子体化学
薄膜材料
表面改性
研究起点
研究来源
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
半年刊
成都市第109信箱207分箱
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
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0
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