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芯片层叠塑料封装的MEMS惯性器件的开封方法
芯片叠层封装
微电子系统惯性器件
开封
塑料
3D叠层封装集成电路的芯片分离技术
3D叠层封装
集成电路
芯片分离技术
区域研磨法
化学腐蚀法
集成传感器芯片的封装应力分析
集成传感器
封装
有限元
残余应力
塑料球栅阵列封装的热应力模拟
塑料球栅阵列
封装
热应力
有限元分析
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 塑料封装芯片的腐蚀
来源期刊 电子 学科 工学
关键词 塑料封装 芯片 腐蚀 半导体器件
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 68-76
页数 9页 分类号 TN305.94
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研究主题发展历程
节点文献
塑料封装
芯片
腐蚀
半导体器件
研究起点
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引文网络交叉学科
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期刊影响力
电子
双月刊
北京市23信箱22分箱
出版文献量(篇)
77
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