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HP5528A双频激光干涉测量系统及其应用
HP5528A双频激光干涉测量系统及其应用
作者:
费文岳
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测量
长度
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干涉法
激光
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篇名
HP5528A双频激光干涉测量系统及其应用
来源期刊
精密机床
学科
工学
关键词
测量
长度
计量
干涉法
激光
双频
年,卷(期)
1990,(1)
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44-45
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TH744.3
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激光
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精密机床
主办单位:
昆明精密机床研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
昆明市北郊茨坝昆明精密机床研究所
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