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文献信息
篇名 光刻用感光高分子材料进展
来源期刊 北京化工 学科 工学
关键词 光刻 感光材料 高分子材料 激光
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 26-33
页数 8页 分类号 TN305.7
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研究主题发展历程
节点文献
光刻
感光材料
高分子材料
激光
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
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半月刊
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出版文献量(篇)
216
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