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脉冲离子束流聚焦装置的研制
脉冲离子束流
限束
透镜
聚焦
离子束增强沉积技术
离子束增强
铜膜
离子源
用于双离子束注入器的杂质消除系统
注入器
双离子束
杂质
离子束刻蚀碲镉汞的沟槽深宽比改进
碲镉汞
离子束刻蚀
深宽比
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 磁光光盘玻璃盘基沟槽反应离子束刻蚀
来源期刊 科技通讯(上海船厂) 学科 工学
关键词 光盘 玻璃盘 离子束 刻蚀 存储
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 36-38
页数 3页 分类号 TP334
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研究主题发展历程
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光盘
玻璃盘
离子束
刻蚀
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研究起点
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期刊影响力
科技通讯(上海船厂)
双月刊
上海市机厂路132号
出版文献量(篇)
142
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