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文献信息
| 篇名 | 自对准钼栅技术在CMOSIC中的应用研究 | ||
| 来源期刊 | 上海交大科技 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 钼栅技术 CMOSIC 应用 集成电路 | ||
| 年，卷（期） | shjdkj_1990,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 53-58 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN432 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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