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透射电镜与LSI微分析
透射电镜与LSI微分析
作者:
秦玮
陈一
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
透射电镜
LSI
微分析
摘要:
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篇名
透射电镜与LSI微分析
来源期刊
LSI制造与测试
学科
工学
关键词
透射电镜
LSI
微分析
年,卷(期)
1990,(4)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
19-23
页数
5页
分类号
TN407
字数
语种
DOI
五维指标
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研究主题发展历程
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透射电镜
LSI
微分析
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
主办单位:
上海光学仪器研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
CN:
31-1459/TN
开本:
出版地:
上海江西中路450号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
0
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