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用于双离子束注入器的杂质消除系统
注入器
双离子束
杂质
低能离子束表面改性对聚碳酸酯(PC)粘接性能的影响
低能离子束
聚碳酸酯
表面改性
粘接性能
压剪强度
利用加速器产生的中低能离子束进行离子原子碰撞研究
转移电离
单电子俘获
电离半径
俘获半径
离子束外延生长半导体性锰硅化合物
半导体性锰硅化物
硅单晶
质量分析的低能离子柬
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 带有质量分离的低能双离子束外延技术
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 离子束 外延技术 薄膜 淀积
年,卷(期) 1990,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-5
页数 5页 分类号 TN304.55
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研究主题发展历程
节点文献
离子束
外延技术
薄膜
淀积
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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