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摘要:
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"卡脖子"技术的突破:中国微电子技术微米级台阶的跨越
微电子技术
超大规模集成电路
国际封锁
巴黎统筹委员会
李志坚
发展微电子技术,迎接信息化的挑战
微电子技术
集成电路
半导体器件
宽禁带半导体
扫描电镜SEM在纺织材料研究中的应用进展
扫描电子显微镜
纺织材料
应用
扫描电镜技术在木材工业中的应用
木材学
人造板工艺
扫描电镜
应用
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 扫描电镜(SEM)在微电子技术中的应用
来源期刊 LSI制造与测试 学科 工学
关键词 扫描电镜 微电子技术 SEM
年,卷(期) 1990,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 35-38
页数 4页 分类号 TN407
字数 语种
DOI
五维指标
传播情况
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引文网络
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1990(0)
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研究主题发展历程
节点文献
扫描电镜
微电子技术
SEM
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
LSI制造与测试
双月刊
31-1459/TN
上海江西中路450号
出版文献量(篇)
366
总下载数(次)
0
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0
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