压电晶体为驱动源的精密微位移机构

• 作者: 万德安 井川直哉
• 来源期刊: 压电晶体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电晶体 驱动源 精密微位移机构
• 年，卷（期）: 1990,（4）
• 页码范围: 5-12
• 页数: 8页
• 分类号: TH86

摘要

本论文对大运动范围的叠层式压电晶体性能进行了实验，得到1nm以上的高分辨率及精度，以其作为驱动源制成的精密微位移扩大机构，其快速跟踪性，线性度及分辨率等具有十分良好的特性，在放大比为6．5以下时，系统因有频率达80Hz左右。能够满足高精度的微位移机构要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	万德安		65	681	14.0	23.0
2	井川直哉		1	0	0.0	0.0