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文献信息
篇名 成膜工艺对溅射MoS2—Au复合膜结构和性能的影响
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 成膜工艺 溅射 MoS2-Au 复合膜
年,卷(期) 1990,(3) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 33-41
页数 9页 分类号 TN304.055
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研究主题发展历程
节点文献
成膜工艺
溅射
MoS2-Au
复合膜
研究起点
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相关学者/机构
期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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