一种适于激光刻蚀的电极材料

• 作者: 肖兵 钟件强
• 来源期刊: 上海硅酸盐
• 学科: 工学
• 关键词: 激光刻蚀 电极材料 非晶硅太阳电池
• 年，卷（期）: 1990,（1）
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TM914.4

摘要

用溅射和蒸发的铬合金薄膜作非晶硅太阳电池的背电极材料可用调Q－YAG激光直接刻蚀成图。根据铝和铬和物理特性，论证了铬合金薄膜比铝薄膜列适合于激光刻蚀。通过显微镜观察和Dektak轮廓仪测量，证明铬合金薄膜下面的非晶硅没有被刻蚀，从激光喇谱的测量亦表明没有产生晶化。激光刻蚀后刻槽隔离电阻为１．２－１．５kΩ（刻槽长１４mm),能满足非晶硅太阳电池的要求。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖兵	中国科学院上海硅酸盐研究所	11	152	8.0	11.0
2	钟件强	中国科学院上海硅酸盐研究所	1	0	0.0	0.0