近代低温FT—R技术及其在半导体分析中的应用

• 作者: 何秀坤 李光平
• 来源期刊: 半导体杂志
• 学科: 工学
• 关键词: FT-R技术 半导体分析 低温红外光谱技术
• 年，卷（期）: bdtzz,（1）
• 页码范围: 34-43
• 页数: 10页
• 分类号: TN302

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李光平		1	0	0.0	0.0
2	何秀坤		1	0	0.0	0.0