正弦相位调制菲索干涉仪

• 作者: Sasak.,O 李熙
• 来源期刊: 国外计量
• 学科: 工学
• 关键词: 菲索干涉仪 正弦相位调制 干涉仪
• 年，卷（期）: gwjl_1990,（5）
• 页码范围: 8-10
• 页数: 3页
• 分类号: TH744.3

摘要

<正> 一、前言菲索干涉仪对于光学系统中发生的摆振问题是不敏感的,而且它可方便地用于大直径物体表面轮廓的测量。这两个优点对于高达1nm量级的高准确度表面轮廓的测量特别重要。如果我们用一台泰曼-格林干涉仪测量一大直径物体,如直径80mm 平板玻璃的表面轮廓,那么从物体反射回的波前不得不用至少两个透镜进