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氧回旋离子束刻蚀化学气相沉积金刚石膜
离子灵敏探针
离子温度
金刚石膜
刻蚀
回旋离子束
超精密金刚石刀具研磨技术的研究
单晶金刚石
晶体定向
研磨
刃口半径
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 使用高能氩离子束使顶角小于55度的金刚石刀刃锋...
来源期刊 上仪情报 学科 工学
关键词 氩离子束 金刚石 刀具 成型工艺
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 11-16
页数 6页 分类号 TG711.06
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节点文献
氩离子束
金刚石
刀具
成型工艺
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上仪情报
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