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α-Si3N4与γ-Si3N4、α-Si3N4混合粉体超高压烧结的比较研究
超高压烧结
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显微结构
Si3N4陶瓷钎焊用钎料的熔化特性与元素扩散行为
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氮化硅
二次PTLP连接
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界面结构
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陶瓷
化学镀
辉光钎焊
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 溅射沉积Ti膜与Si3N4陶瓷的界面研究
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 溅射 沉积 Ti膜 SI3N4 陶瓷 界面
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 37-46
页数 10页 分类号 TM28
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研究主题发展历程
节点文献
溅射
沉积
Ti膜
SI3N4
陶瓷
界面
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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