同步辐射用X射线光刻步进器

吴秀丽; 曹建林

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同步辐射用X射线光刻步进器

同步辐射用X射线光刻步进器

作者：

吴秀丽曹建林

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同步辐射

X射线

光刻步进器

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文献信息

篇名	同步辐射用X射线光刻步进器
来源期刊	光机情报	学科	工学
关键词	同步辐射 X射线光刻步进器
年，卷（期）	1991,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	21-26
页数	6页	分类号	TN305.7
字数		语种	中文
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