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黑色人造金刚石
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人造金刚石
合成
控制系统
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磁透镜技术
金刚石沉积膜
类金刚石沉积膜
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人造金刚石压机
工艺参数
智能PID控制
PID自整定
模糊PID控制
内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 人造金刚石薄膜的合成及其应用
来源期刊 新技术应用 学科 工学
关键词 合成 半导体薄膜 金刚石薄膜
年,卷(期) 1991,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 67-69
页数 3页 分类号 TN304.18
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节点文献
合成
半导体薄膜
金刚石薄膜
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期刊影响力
新技术应用
季刊
银川新市区朔方路9号
出版文献量(篇)
134
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