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人造金刚石薄膜的合成及其应用
人造金刚石薄膜的合成及其应用
作者:
张津岩
李敬起
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合成
半导体薄膜
金刚石薄膜
摘要:
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文献信息
篇名
人造金刚石薄膜的合成及其应用
来源期刊
新技术应用
学科
工学
关键词
合成
半导体薄膜
金刚石薄膜
年,卷(期)
1991,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
67-69
页数
3页
分类号
TN304.18
字数
语种
DOI
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合成
半导体薄膜
金刚石薄膜
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新技术应用
主办单位:
宁夏新技术应用研究所
出版周期:
季刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
银川新市区朔方路9号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
134
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