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等离子电弧法制备纳米SnO2的试验研究
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关键词云
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文献信息
篇名 衬底温度等因素对在射频等离子体中生长SnO2薄膜过程的影响
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 SNO2薄膜 等离子体 射频 温度 薄膜
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 22-30
页数 9页 分类号 TN304.21
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节点文献
SNO2薄膜
等离子体
射频
温度
薄膜
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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