α—Fe2O3气敏半导体薄膜的PCVD过程

徐甲强; 沈瑜生

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α—Fe2O3气敏半导体薄膜的PCVD过程

α—Fe2O3气敏半导体薄膜的PCVD过程

作者：

徐甲强沈瑜生

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Α-FE2O3

半导体

薄膜

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文献信息

篇名	α—Fe2O3气敏半导体薄膜的PCVD过程
来源期刊	薄膜科学与技术	学科	工学
关键词	Α-FE2O3 半导体薄膜
年，卷（期）	1991,（2）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	16-21
页数	6页	分类号	TN304.055
字数		语种
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