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甲醇水溶液等离子体电沉积DLC薄膜
DLC薄膜
微观结构
等离子体
电流密度
极间距
电沉积
大气压等离子体沉积棉织物类氧化硅薄膜
大气压等离子体
棉织物
薄膜
双放电腔微波-ECR等离子体源增强磁控溅射沉积技术
磁控溅射
放电特性
氮化碳膜/等离子体源
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 微波ECR等离子体溅射沉积Y—Ba—Cu—O超导薄膜
来源期刊 薄膜科学与技术 学科 工学
关键词 ECR 薄膜 等离子体 超导 YBACUO
年,卷(期) 1991,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 9-15
页数 7页 分类号 TM26
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薄膜
等离子体
超导
YBACUO
研究起点
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期刊影响力
薄膜科学与技术
双月刊
南京1601信箱43分箱
出版文献量(篇)
327
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1
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