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微机在连续磁控溅射台上的应用
微机在连续磁控溅射台上的应用
作者:
许镜明
邓时君
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
微机
真空镀膜
磁控溅射台
摘要:
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文献信息
篇名
微机在连续磁控溅射台上的应用
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
微机
真空镀膜
磁控溅射台
年,卷(期)
1991,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
17-20
页数
4页
分类号
TN305.9
字数
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微机
真空镀膜
磁控溅射台
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研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
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1
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