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文献信息
| 篇名 | 同步辐射光刻用光束线 | ||
| 来源期刊 | 光机情报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 同步辐射 光刻 光束线 X射线 | ||
| 年，卷（期） | gjqb_1991,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 31-35 | |
| 页数 | 5页 | 分类号 | TN305.7 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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