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CrAlN/TiAlN纳米多层膜界面结构的中子与X射线反射研究
中子反射
CrAlN/TiAlN多层膜
界面结构
直流X射线模拟电缆X射线响应的可行性
直流X射线
电缆
X射线辐照响应
脉冲X射线
基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计
功率器件
沟槽型功率器件
掩膜板
工艺仿真
软X射线多层膜技术
软X射线
多层膜
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 X射线掩膜
来源期刊 光机情报 学科 工学
关键词 X射线 掩膜 半导体 工艺
年,卷(期) 1991,(8) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 14-18
页数 5页 分类号 TN305.7
字数 语种 中文
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1991(0)
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研究主题发展历程
节点文献
X射线
掩膜
半导体
工艺
研究起点
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研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
光机情报
月刊
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370
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0
总被引数(次)
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