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软X射线多层膜技术
软X射线
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解析计算
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模体投影
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锥形束
三维重建
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用X射线微缩相机的软X射线投影刻蚀技术
来源期刊 光机情报 学科 工学
关键词 X射线 微缩相机 刻蚀技术
年,卷(期) gjqb,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-16
页数 4页 分类号 TB852.1
字数 语种 中文
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
X射线
微缩相机
刻蚀技术
研究起点
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期刊影响力
光机情报
月刊
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370
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