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激光化学气相沉积技术在掩模版修复中的应用
激光技术
光化学
光掩模修复
激光化学气相沉积
开放式
非接触感应供电技术及其在扭矩测试中的应用
非接触感应供电技术
副边补偿
频率选择
扭矩测试
电路设计
光刻技术在金属板片刻蚀上的应用
光刻技术
层板喷注器
膜片阀
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 在非接触光刻中的掩模版保护技术
来源期刊 江南半导体通讯 学科 工学
关键词 集成电路 光刻 掩模板 保护
年,卷(期) 1992,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 1-10
页数 10页 分类号 TN405.7
字数 语种 中文
DOI
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1992(0)
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研究主题发展历程
节点文献
集成电路
光刻
掩模板
保护
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
江南半导体通讯
双月刊
江苏省无锡市105信箱微电子技术编辑部
出版文献量(篇)
141
总下载数(次)
1
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